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飛秒激光加工系統(tǒng)FemtoFAB
飛秒激光加工系統(tǒng)FemtoFAB
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產(chǎn)品分類
FemtoFAB是一款工業(yè)用飛秒激光微加工設(shè)備。配置選定后，根據(jù)客戶特定激光加工應(yīng)用調(diào)試，包括對(duì)任何材料激光切割，激光劃片，激光鉆孔，3D激光銑削（使用的激光峰值功率>2.4GW）。系統(tǒng)使用Class 1激光安全防護(hù)罩，通過(guò)單個(gè)SCA工程軟件窗口控制。
FemtoFAB提供激光同步移動(dòng)控制和/或集成掃描振鏡系統(tǒng)控制，對(duì)不同工業(yè)微加工應(yīng)用，提供優(yōu)質(zhì)的速度和精度參數(shù)。產(chǎn)品在立陶宛設(shè)計(jì)和裝配。
產(chǎn)品特點(diǎn)：
- 高加工速度，高達(dá)300mm/s
- 加工不同物體亞微米分辨率
- 飛秒加工模式具有最小熱影響區(qū)
- 直驅(qū)亞微米精度位移臺(tái)
- 使用高性能掃描振鏡精細(xì)激光束控制
- 點(diǎn)數(shù)控制（單點(diǎn)到350KHz）
- 激光脈沖和移動(dòng)物體在空間和時(shí)間上同步
- 原版軟件界面控制所有集成的硬件設(shè)備
性能參數(shù)：
| 樣品特性 | |
| 材料 | 固體材料，液態(tài)聚合物 |
| 尺寸（mm） | 150×150×150 |
| 光束成型和控制 | |
| 脈沖選擇 | 集成、自動(dòng)控制 |
| 掃描振鏡 | 10m/s掃描速度，5×5 |
| 聚焦 | 高NA非球面鏡或物鏡，焦長(zhǎng)1.45-18.4mm |
| SLM（選配） | 1920×1080,15.36mm×8.64mm，16bit，反射式 |
| 位置 | |
| 類型 | XYZ，線性電機(jī)，交叉定位，空氣軸承（選配） |
| 加工速度 | 350mm/s |
| 工作區(qū)域（mm） | 160×160 |
| 分辨率（nm） | 1 |
| 位置精度（nm） | ±300 |
| 重復(fù)性（nm） | ±50 |
| 穩(wěn)定度（nm） | 3 |
| 樣品支架 | 真空夾頭 |
| 激光參數(shù) | |
| 激光介質(zhì) | Yb:KGW |
| 波長(zhǎng) | 1028±5nm |
| 功率（W） | 4（6，8，10選配） |
| 振蕩器輸出功率（W） | 0.7-1.5 |
| 脈沖能量（mJ） | 1 |
| 重頻（KHz） | 200（600,1000選配） |
| 脈寬 | <200fs-10ps（可調(diào)）；<80fs（振蕩器） |
| 光束質(zhì)量 | M2<1.2 |
| 輸出脈沖穩(wěn)定性 | <1%RMS |
| 諧波產(chǎn)生器 | |
| 諧波 | 515nm，343nm，258nm，206nm選配 |
| 轉(zhuǎn)換效率（@200KHz） | >50%（SH），>30%（TH）選配，>10%（FH）選配 |
| 軟件控制 | |
| 功率控制 | 激光輸出，電動(dòng)衰減器 |
| 位移臺(tái)控制 | 2.5D微加工，3D XYZ指令 |
| 控制界面 | 算法窗口，虛擬或GUI操縱桿 |
| 圖形或矢量格式 | .bmp，.plt |
產(chǎn)品應(yīng)用：
Glass Spacers
Sapphire cutting 0.325 mm thickness. Top view
Sapphire bulk marking
Tempered glass 0.55 mm thickness, 42 um DOL. Top view
Titan coating selective ablation
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