臺灣奕葉C-2系列探針臺內(nèi)置獨特抗震膠囊及吸盤獨特低重心同軸滑臺是機(jī)臺穩(wěn)固的條件下而達(dá)到輕量以及小型化，高性價比，C-2系列探針臺的吸盤同軸滑臺獨特XY旋鈕一上一下配置，方便XY快速切換，使組件達(dá)到快速25mm/轉(zhuǎn)及精細(xì)10micron調(diào)整的方便性，除了DC直流應(yīng)用之外及RF射頻也能勝任到67GHz應(yīng) 用.DCx6或RFx4 DCx2
臺灣奕葉C-2系列探針臺底座配備獨特抗震囊，可讓探針臺體穩(wěn)定，電性量測無震動干擾，省去購買防震墊或防震桌的預(yù)算，同軸滑臺可以快速移動尋找DUT，同時又兼具10micron的微調(diào)定位精度。C-2系列探針臺的厚度只有25 mm，大大降低了探針臺的重心高度。 友商產(chǎn)品多數(shù)只有配置微調(diào)滑臺而沒有快速尋找的功能（也就是從晶圓的邊到邊，用手轉(zhuǎn)都要上百圈）或是為達(dá)到快速尋找功能而下方配備另一快速滑臺，這兩個滑臺增高了許多，整個機(jī)臺重心突然變高，大大增加了穩(wěn)定、重復(fù)、長期及高速量測的風(fēng)險。
葉探針座細(xì)牙技術(shù)，是one micron的穩(wěn)定定位不可或缺，專業(yè)接軌的生產(chǎn)線將探針座身體高度矮化及寬度窄化，可實現(xiàn)射頻x4及直流x2或直流x6可能性。
奕葉探針座底附磁性開關(guān)，大大降低探針座的定位時間。 就好像車子發(fā)動后，馬上就要開去目的地那邊出任務(wù)，客戶用探針臺的時候就是要做電信量測出任務(wù)一樣，在用之前定位這些探針座的位子是必須的，因為市面上多數(shù)探針座每一軸 的移動范圍都只有在12.5mm左右，只能在那12.5mm的移動范圍內(nèi)來使用，那定位的時間如果越短的話，大大增加電信量測在使用探針臺之前的方便性，省得時間就是金錢。 目前奕葉的磁鐵開關(guān)底座，厚度非常薄、撥桿非常順暢、磁鐵去除非常干凈、磁性非常強(qiáng)及防銹處理很好。
一、技術(shù)指標(biāo)
- 2英寸卡盤
- X-Y軸移動范圍2英寸-2英寸
- 同軸卡盤，單手可操作X-Y軸移動
- 全新設(shè)計，體積更小更輕，便攜式
- 可放置于手套箱內(nèi)使用超清數(shù)字CCD顯微鏡，USB連接
- 可兼顧直流和射頻的測試，C-2-RF型號更可搭載4個射頻針座、2個直流針座
二、附件
- 鍍金卡盤
- 射頻探頭/線纜
- 有源探頭
- 高低溫選件
三、應(yīng)用
- 越來越多的產(chǎn)品需要在常溫?zé)o氧或高溫?zé)o氧下量測，這種體積小的探針臺可以放到氮氣建制無氧環(huán)境的手套箱內(nèi)量測，
- 手套箱吹的干氮氣或空氣建立成一個干的環(huán)境，所以環(huán)境也可以架設(shè)冷吸盤給冷環(huán)境量測，測量組件不會產(chǎn)生結(jié)露結(jié)冰現(xiàn)象。
- 與光電元件共同架設(shè)在一個大的面包板防震桌上。
- 在大的太能模擬光下直接架設(shè)。
- 可在一個儀器架上面架設(shè)，上面層是屏幕，下面層是儀器，中間層是探針臺。
- 空間面積受限的場地，只要40×40公分的面積就可以架設(shè)一臺。
- 數(shù)字顯微鏡可以被換成選配的四點探針頭，作為前段薄膜制程改進(jìn)用的偏電阻量測使用，在電路制做完成后數(shù)字顯微鏡又換裝回去，馬上可以轉(zhuǎn)回成電性量測探針臺。
- 當(dāng)電性量測需要跟其他實驗室借儀器時，可以直接攜帶探針臺過去鏈接，避免儀器搬運(yùn)的損壞風(fēng)險。
- 與其他客戶執(zhí)行合作計劃時，可將探針臺直接搬到客戶那做電性量測驗證。
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