什么是激光誘導(dǎo)激光光譜系統(tǒng)？
激光誘導(dǎo)擊穿光譜(LIBS)是一種原子發(fā)射光譜儀?？梢詫滔?、液相和氣相基體中幾乎所有元素進(jìn)行定性和定量的分析。不同于傳統(tǒng)的檢測方法如ICP-OES或者XRF，LIBS在檢測過程中無需進(jìn)行復(fù)雜的樣品制備。為了達(dá)到這個目的，LIBS采用高能量聚焦脈沖激光光束將樣品激發(fā)至等離子態(tài)，對產(chǎn)生的對應(yīng)元素發(fā)射譜進(jìn)行分析。元素發(fā)射譜的波長與元素的種類直接相關(guān)，而元素譜線的強(qiáng)度則和元素的含量相關(guān)。
激光誘導(dǎo)擊穿光譜技術(shù)特點(diǎn)
激光誘導(dǎo)擊穿光譜技術(shù)系統(tǒng)在進(jìn)行元素分析的時(shí)候，需要樣品量極少，對樣品的破壞性??；具有自清潔能力，幾乎不需要樣品制備；可以實(shí)現(xiàn)快速實(shí)時(shí)在線分析；具有遙測能力，可實(shí)現(xiàn)有毒、強(qiáng)輻射等惡劣環(huán)境中的遠(yuǎn)距離、非接觸性測量；具有ppm量級探測靈敏度，可對痕量元素進(jìn)行探測。
激光誘導(dǎo)擊穿光譜產(chǎn)品構(gòu)成：
多通道光譜儀MX2500+，憑借其高效的外部同步時(shí)鐘，完美的協(xié)同了所有通道實(shí)現(xiàn)精確的延遲采集，準(zhǔn)確的在原子激發(fā)輻射突出時(shí)采集到完整的原子譜線信號。同時(shí)，MX2500+可以應(yīng)客戶的需求在180-1100nm的范圍內(nèi)自由的配置光譜儀的通道數(shù)量和覆蓋范圍，系統(tǒng)自帶的高效時(shí)鐘可以完美的同步所有通道，并同時(shí)實(shí)現(xiàn)精確觸發(fā)兩臺外部設(shè)備。（如激光器或微波增強(qiáng)設(shè)備）
激光器：常使用Nd:YAG激光器，激光器的脈沖寬度一般為納秒量級，能夠在極短時(shí)間內(nèi)在極小面積上集中大量能量，作為系統(tǒng)激勵源，將樣品表面微量物質(zhì)剝離并激發(fā)出等離子體。
樣品倉：密閉穩(wěn)定的倉式結(jié)構(gòu)，一般會包含樣品平臺，激光聚焦和收光光路，氣體吹掃系統(tǒng)，成像系統(tǒng)，激光安全保護(hù)等配套裝置。
產(chǎn)品特點(diǎn)：
- 可搭配穩(wěn)定高效的樣品倉系統(tǒng)
- 可升級光譜模塊
- 支持雙脈沖激光器
- 寬光譜高分辨率測量，180-1100nm范圍內(nèi)多達(dá)16384個像元
- 高觸發(fā)信號精度（±10ns）
應(yīng)用方向：
- 環(huán)境監(jiān)測（土壤污染，工業(yè)生產(chǎn)）
- 材料分析（金屬，煤炭，塑料）
- 醫(yī)學(xué)和生物化學(xué)（骨骼，牙齒）
- 國家安全（爆炸，生化武器）
- 藝術(shù)品鑒定（顏料，陶瓷，寶石）
LIBS系統(tǒng)應(yīng)用：
土壤&農(nóng)作物污染檢測：
海洋光學(xué)的客戶使用MX2500+光譜儀組合樣品倉，在實(shí)驗(yàn)室內(nèi)使用激光誘導(dǎo)擊穿光譜技術(shù)進(jìn)行土壤和農(nóng)作物中重金屬成分進(jìn)行研究，結(jié)合對應(yīng)重金屬元素的濃度標(biāo)定，可以實(shí)現(xiàn)對應(yīng)元素在土壤和農(nóng)作物中的含量測量。由于激光誘導(dǎo)擊穿光譜技術(shù)無需樣品制備的特點(diǎn)，能夠?qū)崿F(xiàn)快速測量，因此研究結(jié)果對未來的土地污染防治，農(nóng)作物生產(chǎn)方面起到很大的指導(dǎo)意義。
古玩鑒定：
系統(tǒng)用極其微小的一束激光打在鑒定樣品上，通過接收激發(fā)的等離子體實(shí)現(xiàn)對微量樣品的光譜分析。該檢測對樣品的損傷是分子級別的（相對于把樣品放到桌子上產(chǎn)生的損傷還?。?；同時(shí)，MX2500+具有體積小巧、便于攜帶的優(yōu)勢。一直以來，中國的古玩鑒定一直依賴“白發(fā)”專家，MX2500+系統(tǒng)將為古玩鑒定專家?guī)砀叩臏?zhǔn)確性，使這個古來的行業(yè)煥發(fā)青春活力。
多通道應(yīng)用：
煤炭&金屬測量：
煤炭作為我國最重要的能源，同樣也存在類似鋼鐵行業(yè)的問題，傳統(tǒng)的煤炭分析方法耗時(shí)長，無論在煤炭生產(chǎn)或是使用中無法實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)的成分分析，尤其是對于其中部分成分（硫）含量的實(shí)時(shí)檢測無法實(shí)現(xiàn)，因而無法進(jìn)行實(shí)時(shí)的質(zhì)量控制。海洋光學(xué)的MX2500+組成的激光誘導(dǎo)擊穿光譜測量系統(tǒng)作為一種紫外波段特殊優(yōu)化的快速成分分析設(shè)備，可以實(shí)現(xiàn)從煤炭生產(chǎn)到煤炭燃燒各個環(huán)節(jié)的實(shí)時(shí)監(jiān)控。
等離子體發(fā)光測量：
MX2500+不僅僅可以組建激光誘導(dǎo)擊穿光譜系統(tǒng)，還可以用在各種各樣的原子光譜測量場合。例如電感耦合等離子體原子發(fā)射光譜法（ICP-OES）聯(lián)合使用，作為燃燒爐后端光譜采集設(shè)備。
寬波段、高分辨的多通道光譜儀MX2500+也是激光的測量的應(yīng)用中的一把利器。
大氣壓輝光放電過程中會生成等離子體，采用多通道光譜儀MX2500+測量等離子體，對使用大氣壓輝光放電的工作實(shí)現(xiàn)了實(shí)時(shí)過程監(jiān)測。
等離子刻蝕是半導(dǎo)體及微系統(tǒng)制造超大規(guī)模集成電路制造過程中的關(guān)鍵步驟，使用多通道光譜儀MX2500+實(shí)時(shí)監(jiān)測等離子體光譜，即可在刻蝕過程中精確的定位蝕刻終點(diǎn)，提升刻蝕的工藝水平。
技術(shù)參數(shù)
| 系統(tǒng)性能參數(shù) | |
| 可測元素 | 原子序數(shù)Z≥1 |
| 濃度范圍 | ≥10ppm，取決于元素種類 |
| 樣品性狀 | 固體或壓片粉末 |
| 最大樣品尺寸 | 30*30*20mm（x*y*z） |
| 最大樣品重量 | 2kg |
| 平移臺行程范圍 | 60*60*60mm（x*y*z） |
| 光斑尺寸 | ≤50um，激光波長1064nm |
| 激光器波長 | Nd:YAG 1064nm/532nm可選 |
| 激光器能量 | 50mJ/200mJ可選 |
| 光纖 | 抗紫外光纖 |
| 成像 | 可選高倍微觀視野 |
| 軟件 | 控制硬件設(shè)備，獲取數(shù)據(jù) |
| 支持二次開發(fā)，動態(tài)鏈接庫 | |
| 光譜處理算法，熒光背景扣除 | |
| 光譜儀參數(shù) | |
| 波長范圍 | 180nm-1100nm |
| 通道數(shù) | 1~8通道 |
| 光學(xué)分辨率 | 0.1nm（FWHM） |
| 探測器 | 線陣CCD/面陣CCD可選 |
| 積分時(shí)間 | 1ms~65s |
| 觸發(fā)延遲 | ±450us |
| 觸發(fā)抖動 | ±10ns |
| 尺寸重量 | |
| MX2500+尺寸（8通道） | 460mm*150mm*165mm |
| MX2500+重量（8通道） | 7kg |
| 樣品倉尺寸 | 450mm*360mm*460mm |
| 樣品倉重量 | 25kg |
| 激光驅(qū)動器尺寸 | 360mm*133mm*435mm |
| 激光驅(qū)動器重量 | 14kg |
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